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电子工业气体的现状

2022-01-13 16:32:25

一般说来,能够生产纯气体、高纯气体、电子工业用气体产品的企业,都有一定的技术力量和仪器设备,管理也十分到位。标准的实施虽然一般没有什么大的问题,但微量杂质的分析问题可能是它们共同的难点所在。

电子工业用气体是一种有特殊用途的气体,在半导体、集成电路的生产中,或者用于气相淀积、离子注入、等离子工艺,或者用于蚀刻、钝化、外延、掺杂,或者作为载气、加压、清洗、保护、覆盖、溅射、退火、扩散等等。它们对使用有害的杂质的要求相当严格,集成度越高,要求越高。

哈尔滨工业气体公司带您了解与纯气体、高纯气体不同,电子工业用气体标准关心的是于使用有害的杂质,而于使用无害的杂质通常不予规定,杂质及其含量指标由使用要求确定,对于诸如氧、水等具有氧化性或还原性的杂质要求往往特别严格,气体的纯度由杂质含量确定,低纯度97%,纯度要求已达到99.99999%。

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纯气体、高纯气体重在气体的纯度,考虑了所有可能存在的杂质,杂质含量随纯度确定。纯气体的纯度通常在99.99%以上,高纯气体通常在99.999%以上。纯度很高的高纯气体不一定能符合电子工业用气的要求;反之,纯度较低的气体产品不一定不能用于电子工业,关键是含有的杂质水平是否满足使用要求。

我国现行的电子工业用气体标准几乎都是采用SEMI(半导体设备与材料国际组织)标准而制定的,今后可能也一样。SEMI是一个有1200多个企业参加的、组织半导体设备和材料方面的国际展览、技术交流、制定标准和规范的一个国际组织。SEMI制定的标准,保持了技术上的先进性。密切结合微电子技术的发展,反映了当前半导体工业的国际水平,有较强的科学试验依据和生产技术的支持,具有较高的科学性、先进性、实用性,内容较全面,标准配套。在一定意义上,已成为半导体工业的国际性语言。


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