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工业气体、标准气体、高纯气体的发展趋势?

2021-05-28 17:05:05

       近几年来,随着国防工业、科研、自动化技术、精密测试,尤其是微电子技术的发展,特种气体产业也在兴起,下面就一起来看看2021年工业气体、标准气、高纯气的发展状况吧!

近几年来,随着国防工业、科研、自动化技术、精密测试,尤其是微电子技术的发展,特种气体工业迅速发展。特气是工业气体的一个新门类,按应用领域分为工业气体、高纯气体、标准气体三大类。

近几年来,随着下游应用领域的逐步扩大,特种气体的种类不断增加,据不完全统计,我国现有特种气体260多种。

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       随著无低温气体分离(吸附、膜分离)、混合及净化技术的发展,越来越多的特种气体产品将逐渐进入市场。主要有氢化物(超纯氢、硅烷、磷烷等)、氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等)、碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。当前我国电子气体种类繁多,但与发达国家相比,其数量和质量仍有较大差距。由于半导体和微电子工业的迅速发展,对电子气体的种类、量、质和纯度的要求越来越高。

标准气分为单标准气和多标准气。标准气体在我国目前已基本满足石油、化工、环保和传感器校准等领域的应用。而对于活性较强的标准气,国内还没有完全解决氯标气、氯化氢标气等量产难题。

如氧、氮、氢、氦气、氩气等,一般纯度在99.999%以上,而高纯气体则为大家所熟知。高纯气主要应用于超大型集成电路和分离器、光电器件、其他高新技术领域。目前国内企业生产的高纯气主要是通过精馏分离制得的,国外一些高纯气的制备中采用吸附净化法,实现了常压净化和高压纯化充瓶。国产科技进入这个领域虽有突破,但纯化技术仍需改进。

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